Страница: 2/5
|
|
| ||
Рис.1
После роста, получаем кремний, который имеет области монокристалличности схематично изображенные на рис.1. Это так называемый, столбчатый мультикремний.
2. Электрофизические параметры и зависимость их от технологий производства.
Электрофизические параметры образцов приведены в таблице 1.
|
N |
Тип провод. |
r Ом× см |
s Ом-1 × см-1 |
R см3 к |
n см-3 |
m см3 в× с |
d см |
|
7-1 |
N |
0.145 |
6.850 |
58.140 |
1.17*1017 |
355.04 |
0.20 |
|
7-2 |
N |
0.077 |
13.04 |
50.250 |
1.24*1017 |
655.26 |
0.19 |
|
8-1 |
N |
5.260 |
0.190 |
566.60 |
1.10*1016 |
107.65 |
0.20 |
|
8-2 |
N |
1.205 |
0.830 |
27.320 |
2.28*1017 |
22.680 |
0.20 |
|
9-1 |
N |
0.470 |
2.320 |
25.600 |
2.44*1017 |
59.400 |
0.18 |
|
9-2 |
N |
1.588 |
0.630 |
26.325 |
2.37*1017 |
16.580 |
0.28 |
|
10-1 |
N |
1.240 |
0.800 |
13.050 |
4.79*1017 |
10.450 |
0.17 |
|
10-2 |
N |
0.670 |
1.490 |
31.410 |
1.99*1017 |
46.700 |
0.20 |
|
10-3 |
P |
1.920 |
0.520 |
17.360 |
3.60*1017 |
10.450 |
0.17 |
|
11-1 |
P |
1.390 |
0.735 |
31.000 |
2.00*1017 |
22.300 |
0.30 |
|
11-2 |
P |
0.670 |
1.500 |
22.300 |
2.80*1017 |
33.800 |
0.29 |
|
13-1* |
P |
0.274 |
3.650 |
13.890 |
4.50*1017 |
51.000 |
0.20 |
|
13-2* |
P |
0.255 |
3.920 |
25.000 |
2.50*1017 |
98.000 |
0.17 |
|
14-1 |
P |
0.192 |
5.200 |
9.8750 |
6.30*1017 |
51.350 |
0.14 |
|
14-2 |
P |
0.165 |
6.060 |
6.3900 |
9.78*1017 |
38.720 |
0.16 |
|
15-1 |
P |
0.181 |
5.525 |
4.5400 |
1.38*1018 |
25.080 |
0.15 |
|
15-2 |
P |
0.260 |
3.846 |
4.6800 |
1.34*1018 |
18.000 |
0.12 |
|
16-1* |
P |
0.094 |
10.70 |
6.2000 |
1.00*1018 |
66.340 |
0.26 |
|
16-2* |
P |
0.104 |
9.590 |
7.4500 |
8.39*1017 |
71.440 |
0.24 |
|
21-1* |
P |
0.094 |
10.64 |
8.4700 |
7.38*1017 |
90.100 |
0.20 |
|
21-2* |
P |
0.089 |
11.24 |
8.8100 |
7.10*1017 |
99.000 |
0.20 |
|
21-4* |
P |
0.093 |
10.72 |
8.1300 |
7.69*1017 |
87.200 |
0.20 |
Реферат опубликован: 14/07/2006