Вторично-ионная масс-спектрометрия

по поверхности 10 Установки, позволяющие получать сведения о распределении 11 элемента по поверхности, со сканирующим ионным зондом Установки с прямым изображением 11 Порог чувствительности 12 Анализ следов элементов 14 Ионное изображение 16 Требования к первичному ионному пучку 17 Масс-спектрометрический анализ нейтральных 18 распыленных частиц Количественный анализ 19 Глубинные профили концентрации элементов 22 Приборные факторы, влияющие на разрешение 23 по глубине при измерении профилей концентрации Влияние ионно-матричных эффектов на разрешение 25 по глубине при измерении